Sistema a due camere

Una sonda di prossimità viene utilizzata quando la precisione dei dosaggi dipende da piccole fluttuazioni del bagno.

Vantaggi:

• nessun accumulo di ossido
• economico

Sistema di ricarica

Nella camera di fusione viene utilizzata una sonda sommersa per ottenere maggiori fluttuazioni nella carica.

Monitoraggio con una sonda sommersa e una di prossimità 1 sistema di controllo elettronico per Sistema a basso costo per cicli di processo semplici.

Soluzione alternativa: monitoraggio con sonda immersa e sonda di prossimità 2 sistemi di controllo elettronico per possibilità di misurazione flessibili per cicli di processo indipendenti.