Sistema a due camere

Sistema di dosaggio

Una sonda di prossimità viene utilizzata quando la precisione dei dosaggi dipende da piccole fluttuazioni del bagno.

Vantaggi:

• nessun accumulo di ossido
• economico

Sistema di ricarica

Nella camera di fusione viene utilizzata una sonda sommersa per ottenere maggiori fluttuazioni nella carica.

Monitoraggio con una sonda sommersa e una di prossimità 1 sistema di controllo elettronico per Sistema a basso costo per cicli di processo semplici:

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Soluzione alternativa: Monitoraggio con una sonda sommersa e una di prossimità 2 sistemi di controllo elettronico per una possibilità di misura flessibile per cicli di processo indipendenti:

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